PFA系列折叠滤芯,以聚四氟乙烯拉伸膜为过滤材质,全氟聚合物结构,在受控洁净环境下通过先进的热熔封技术制造。不含任何粘合剂和表面活性剂。具有高通量、高吸附、低析出、长寿命以及优异的耐碱特性等。
具有高通量、高流速、长寿命、耐高温、耐氧化、抗腐蚀、优秀的截留效率(0.003µm)以及极其广泛的化学相容性等特性。
适用于半导体化学中各种酸、碱、有机溶剂等化学品的过滤,以及蚀刻、清洗、光刻胶、显影液等强氧化性液体的过滤及微电子中气体等的过滤。
滤材 | PFA |
支撑/导流层 | PFA/ECTFE |
中心杆/外壳 | PFA |
端盖 | PFA |
接口 | DOE,222-Flat,226-Flat,222-Fin,226-Fin,222-Fin(304BI),226-Fin(304BI) |
密封圈 | BUNA,EPDM,Silicon,Viton |
产品代码 | 过滤精度 (µm) | 过滤面积 (m²) | 滤芯尺寸 (inch) | 滤芯外径 (mm) | 最大压差 (MPa) | 最高温度 (℃) |
ATMC | 0.1, 0.22, 0.45 | 0.7 | 10″, 20″, 30″, 40″ | 2.75″ – 69 | 0.4 MPa / 50℃ 0.3 MPa / 110℃ 0.15 MPa / 170℃ |
170 |
系列 | 长度 | 过滤精度 | 滤芯接口 | 密封环口 | 骨架 |
PPMC: PP 系列折叠滤芯 |
05: 05 inch | 0004: 0.04µm | A: DOE | B: 丁晴橡胶 | C: 有骨架 |
O-PTMC: OPTFE 系列折叠滤芯 |
10: 10 inch | 0010: 0.1µm | B: 222 平头 | E: 丁晴橡胶 | N: 无骨架 |
IPTMC: IPTFE 系列折叠滤芯 |
20: 20 inch | 0022: 0.22µm | C: 222 尖头 | FV/FS: FEP+V/FEP+S | |
ATMC: PFA 系列折叠滤芯 |
30: 30 inch | 0045: 45µm | D: 226 平头 | S: 硅胶 | |
PESMC: PES 系列折叠滤芯 |
40: 40 inch | 0100: 0.1µm | E: 226 尖头 | V: 氟橡胶 | |
NY66MC: Nvlon 66 系列折叠滤芯 |
0300: 0.3µm | ||||
GFMC: Glass Fiber 系列折叠滤芯 |
0500: 0.5µm | ||||
83HF: PP,PTFE.PES 系列折叠滤芯 |
1000: 10µm | ||||
130SHF: PP,PTFE, PES 系列折叠滤芯 |